明電舍(MEIDENSHA)真空電容器
真空電容器MEIVAC的特征是
高耐電壓 真空的耐電壓高，易于實(shí)現(xiàn)小型化；
低損失 可以適用于高RF頻率；
大電流通電 無(wú)整流子結(jié)構(gòu)形式，適合大電流；
高信賴性 具有自我恢復(fù)性，可以承受瞬間過(guò)電壓；
規(guī)格
形式 SCV-155M SCV-510M SCV-514M
高峰試驗(yàn)電壓 [kVp] 15 5 5
靜電容量[pF] 50-500 50-1000 90-1400
RF動(dòng)作電壓 [kVp] 9a 3 3
直線可變性 (pF/N) 42±4
(65pF 以上) 88±6
(80pF 以上) 115±8
(150pF 以上)
轉(zhuǎn)速（回） 12±1 12±1 12±1
最大容許電流 [Arms]
(at 13.56MHz) 100 100 100
回轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩（N?cm）
(kgf?cm) 24.5
2.5 24.5
2.5 24.5
2.5
重量（kg）
尺寸（長(zhǎng)度×直徑） (mm)
1.3
140×φ73 1.35
140×φ73 1.4
140×φ73
真空電容器 MEIVAC
MEIVAC真空電容器系列，是基于明電舍的真空技術(shù)而開發(fā)的一種真空電容器。
真空電容器有以下用途
1 作為半導(dǎo)體薄膜制造設(shè)備的阻抗整合器
2 通信器材的發(fā)報(bào)線路，同調(diào)回路
3 誘電加熱設(shè)備的共振回路
4 各種高頻率電源的電壓增幅回路
近年來(lái)，由于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，真空電容器的用途擴(kuò)大至CVD，蝕刻，滴濺設(shè)備等半導(dǎo)體薄膜制造設(shè)備阻抗整合應(yīng)用領(lǐng)域。
真空可變電容器
真空可變電容器是通過(guò)移動(dòng)真空容器內(nèi)的電極而實(shí)現(xiàn)靜電容量的變化的電容器。
除了了裝置115MM標(biāo)準(zhǔn)的型號(hào)，還搭載了耐高壓特殊電極的黃金型號(hào)，同時(shí)通過(guò)風(fēng)箱構(gòu)造以及增強(qiáng)材質(zhì)的大電流低扭矩型（H系列）。
標(biāo)準(zhǔn)型特點(diǎn)
1 壽命長(zhǎng)
采用高強(qiáng)度的不銹鋼風(fēng)箱，實(shí)現(xiàn)可變范圍二分之一以下的風(fēng)箱壽命達(dá)100萬(wàn)循環(huán)。同時(shí)通過(guò)高強(qiáng)度特殊螺釘構(gòu)造，在可變范圍二分之一的情況下實(shí)現(xiàn)總回轉(zhuǎn)數(shù)1000萬(wàn)以上的長(zhǎng)壽命。
2微型化
陶瓷中心栓與外圍共振器一體化從而是微型化得以實(shí)現(xiàn)。
統(tǒng)一設(shè)為全長(zhǎng)140MM（裝置標(biāo)準(zhǔn)115MM），容易實(shí)現(xiàn)機(jī)器安裝時(shí)的可更換性。
強(qiáng)電流低扭矩型特點(diǎn)
強(qiáng)電流通電
風(fēng)扇采用銅合金新材料，可以實(shí)現(xiàn)強(qiáng)電流通電。（強(qiáng)電流規(guī)格：空冷110Arms、130Arms、150Arms、
160Arms)
低扭矩
H系列內(nèi)部構(gòu)造得到改良，小于18N.cm的低扭矩使得驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的微型化得以實(shí)現(xiàn)。
長(zhǎng)壽命
采用高強(qiáng)度不銹鋼風(fēng)箱，通過(guò)可變范圍二分之一以下的風(fēng)箱壽命100萬(wàn)回轉(zhuǎn)，以及高強(qiáng)度特殊螺釘構(gòu)造，能夠?qū)崿F(xiàn)可變范圍二分之一的總回轉(zhuǎn)達(dá)到1500萬(wàn)以上的超長(zhǎng)壽命。
真空固定電容器
真空固定電容器的誘導(dǎo)體為真空，使用損耗較低的陶瓷作為絕緣體，極大的抑制了損耗系數(shù)。從而使電容器即實(shí)現(xiàn)了微型化，又能耐高壓和承受強(qiáng)大電流。
特點(diǎn)
耐高壓
由于絕緣體是真空，絕緣體能承受很高的電壓，即使在高電壓回路中也安然無(wú)恙。
低損耗
真空誘電體能極大降低損耗。誘電體的損害只出現(xiàn)在構(gòu)成真空容器的電容器兩端的絕緣陶瓷以及導(dǎo)航用陶瓷。
微型化
通過(guò)采用耐高壓的特殊電極實(shí)現(xiàn)微型化。
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