近日，國機集團所屬沈陽儀表科學研究院有限公司(以下簡稱“沈陽儀表院”)承擔的遼寧省科技創(chuàng)新重大專項“高精密激光劃片機工藝技術(shù)及裝備研究”順利通過驗收，成功研制出國內(nèi)先進的12英寸高精密微水束耦合激光劃片機，填補了國內(nèi)空白，在破解制約國產(chǎn)高端激光IC劃切裝備及關(guān)鍵工藝瓶頸的道路上邁出堅實一步。
遼寧省重大專項驗收專家組聽取了項目組的研制工作總結(jié)，并針對關(guān)鍵技術(shù)問題進行了深入質(zhì)詢，驗收專家組最終認為“項目圍繞高精密激光劃片工藝技術(shù)及裝備研發(fā)需求，攻克了微水束激光耦合、高精密運動控制等2項關(guān)鍵技術(shù)，搭建了高精密激光劃片工藝裝備試驗平臺，研制出12英寸高精密水束光纖耦合激光劃片機產(chǎn)品，完成了合同書規(guī)定的任務(wù)與驗收指標”，一致同意項目通過驗收。該項目順利通過驗收，標志著我省IC裝備四大核心裝備之一———12英寸水導激光劃片設(shè)備已經(jīng)實現(xiàn)了國產(chǎn)化，提升了我省集成電路產(chǎn)業(yè)整體競爭力。
實施創(chuàng)新驅(qū)動，是遼寧省委、省政府加快推動新一輪遼寧老工業(yè)基地振興所做出的重大戰(zhàn)略決策，其中，實施科技重大專項是落實全省創(chuàng)新驅(qū)動戰(zhàn)略的重要內(nèi)容。沈陽儀表院依托傳感器國家工程研究中心在半導體精密劃切工藝和專用裝備制造的技術(shù)基礎(chǔ)，與東北大學、沈陽工業(yè)大學、中科院半導體研究所等高校和科研機構(gòu)開展產(chǎn)學研聯(lián)合攻關(guān)，項目組歷時四年，突破了一系列的技術(shù)瓶頸，解決了諸多技術(shù)難題，在水束光纖耦合、高精密運動控制等一系列關(guān)鍵技術(shù)和工藝方面取得重大突破，對誤差擬合和實時補償、視覺對準、激光與微水束對準、設(shè)備可靠性分析、微水束激光加工等技術(shù)和工藝進行了研究和應用，開發(fā)了專用控制系統(tǒng)軟件，成功研制出國內(nèi)先進的12英寸高精密微水束耦合激光劃片機。
項目產(chǎn)品目前正在中國科學院半導體研究所示范應用，總體運行穩(wěn)定。項目相關(guān)技術(shù)直接促進了沈陽儀表院紅外激光劃片機和ZSH系列砂輪劃片機產(chǎn)品的升級換代，技術(shù)衍生產(chǎn)品6寸激光劃片機于今年也正式進入市場服役。項目組下一步將對標國外設(shè)備，繼續(xù)優(yōu)化樣機性能，同時，計劃組建精密劃切工程技術(shù)實驗室，依托專業(yè)化技術(shù)平臺開展激光劃片多種工藝研究，為沈陽儀表院高端裝備制造產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展提供有力支撐。
