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機(jī)床網(wǎng)
德國彼特沃爾特斯peter wolters單晶硅塊切割多線鋸床
2023-07-06 09:05:59


1、DW292-300單晶硅塊切割多線鋸床

DW292-300是專門為半導(dǎo)體行業(yè)將直徑高達(dá)300mm的單晶硅塊切割成高質(zhì)量晶圓而設(shè)計(jì)的。

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新開發(fā)的DW292-300能夠與漿料和金剛石線一起運(yùn)行,并具有提高晶片質(zhì)量的復(fù)雜功能,如翹曲和波紋度

更長的金屬絲網(wǎng)長度以及更高的金屬絲速度和金屬絲加速度能夠提高每臺(tái)機(jī)器和每年的吞吐量。由于移動(dòng)部件的慣性得到優(yōu)化,偏轉(zhuǎn)輥更少,走線路徑更短,因此可以使用非常薄的金剛石走線。

DW292-300由于其緊湊堅(jiān)固的礦物鑄造框架和剛性設(shè)計(jì),對溫度波動(dòng)和振動(dòng)高度不敏感。

操作更安全、更容易、更快,這要?dú)w功于更高的過程自動(dòng)化和帶有基于對話框的生產(chǎn)助手的新的直觀HMI。

 

您的優(yōu)勢:

高品質(zhì)晶圓

吞吐量增加

堅(jiān)固耐用

更高的過程自動(dòng)化

操作簡單安全

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咨詢電話:135 2207 9385

 

技術(shù)參數(shù):

腹板長度[mm]         660

工件最大尺寸[mm]     B.2 305×650

線速[m/sec]漿料:     20/DW:35

線材加速度[m/s2]漿料:8(<3s)/DW:12(<3.5s)

最小導(dǎo)線直徑[μm]      60

最大鋼絲張力[N]       45

偏轉(zhuǎn)輥【個(gè)】          6

導(dǎo)絲輥【個(gè)】          3

切削液罐[l]            300

機(jī)器尺寸[L×W×H][mm]  3800×1380×2860

機(jī)器重量[kg]           10600

 

2、DW 291單晶硅和多晶硅磚切割多線鋸床

使用最細(xì)的導(dǎo)線實(shí)現(xiàn)最高吞吐量。

DW291是專門為將單晶硅和多晶硅磚切割成光伏行業(yè)的晶片而設(shè)計(jì)的。

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新開發(fā)的DW291為最快的晶圓切割時(shí)間設(shè)定了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。DW291提供了一系列全面的創(chuàng)新,以進(jìn)一步提高晶圓產(chǎn)量。

更長的金屬絲網(wǎng)長度以及更高的金屬絲速度和金屬絲加速度能夠提高每臺(tái)機(jī)器和每年的吞吐量。由于移動(dòng)部件的慣性優(yōu)化、較短的布線路徑和金剛石布線管理系統(tǒng)(DWMS),可以使用超薄金剛石布線。

DW291由于其緊湊堅(jiān)固的礦物鑄造框架和剛性設(shè)計(jì),具有高度的抗溫度波動(dòng)和振動(dòng)性能。

操作更安全、更容易、更快,這要?dú)w功于更高的過程自動(dòng)化和帶有基于對話框的生產(chǎn)助手的新的直觀HMI。

 

您的優(yōu)勢:

吞吐量增加

細(xì)線能力

堅(jiān)固耐用

更高的過程自動(dòng)化

操作簡單安全

鉆石線管理系統(tǒng)(DWMS)

經(jīng)過市場驗(yàn)證的DWMS產(chǎn)品提供了敏銳的技術(shù)和卓越的風(fēng)力特性,并在中國獲得專利(專利號(hào):CN 1044114334B)。DWMS可實(shí)現(xiàn)更快的切割時(shí)間、更低的金剛石絲消耗和更低的斷絲率。

 

細(xì)線能力

40μm細(xì)金剛石線的使用已在生產(chǎn)中得到驗(yàn)證。這種非凡的能力顯著降低了切口損耗,并最大限度地減少了每公斤硅的晶片數(shù)量。所有相關(guān)機(jī)器部件的設(shè)計(jì)和改進(jìn)使其能夠更好地處理細(xì)導(dǎo)線并提高操作效率。

技術(shù)參數(shù):

腹板長度[mm]      870

工件最大尺寸[mm]  £166×860

線速[m/sec]        33

導(dǎo)線加速度[m/s2]   10(<3.5s)

最小導(dǎo)線直徑[μm]  50

最小晶圓厚度[μm]  100

導(dǎo)絲輥軸距[mm]    390

切削液罐[l]        490

機(jī)器尺寸[L×W×H]  3700×1200×2500[mm]

機(jī)器重量[kg]      7900

 

3、DW 288 S6硬脆材料用金剛石線鋸

DW 288 S6多線鋸設(shè)計(jì)用于在各種情況下切割硬質(zhì)和脆性材料。

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DW 288 S6基于廣泛使用的DW 288產(chǎn)品家族。它已被用于6英寸工件,最大載荷可達(dá)650毫米。工件巖石技術(shù)與自適應(yīng)進(jìn)給相結(jié)合,確保了最高的晶圓質(zhì)量、最大的吞吐量和最低的自有成本。

無論是切片藍(lán)寶石、硅鋁、石英、鎂合金還是其他硬質(zhì)材料,DW 288 S6都在生產(chǎn)效率、耐磨性和質(zhì)量方面提供了明確的優(yōu)勢。相關(guān)應(yīng)用包括LED和智能照明、輔助和操作、消費(fèi)電子和航空航天。

DW 288 S6采用了一流的工件搖滾概念,以獲得出眾的效果。它提供了更高的靈活性,而且非常用戶友好。憑借其監(jiān)測和日志記錄功能,該設(shè)備已為In-dus-try 4.0做好準(zhǔn)備。

 

DW 288 S6的優(yōu)點(diǎn)

吞吐量增加

最高精度和質(zhì)量

堅(jiān)固耐用

自動(dòng)化程度更高

經(jīng)過市場驗(yàn)證的設(shè)計(jì)

基于對金剛石絲切片工藝的深入了解,領(lǐng)先的設(shè)備已升級(jí)至DW 288 S6。除了先進(jìn)的電子和機(jī)械系統(tǒng)設(shè)計(jì)外,該軟件還經(jīng)過升級(jí),以確保最大限度的過程控制和現(xiàn)代化的制造能力。

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技術(shù)參數(shù):

腹板長度[mm]        650

工件的最大尺寸[mm]  B.2 165×650

線速[m/s]            30(1800m/min)

導(dǎo)線加速度[m/s2]     10(<4s)

最小導(dǎo)線直徑[μm]    100

最大鋼絲張力[N]     45

擺動(dòng)原理工件擺動(dòng)

搖擺角[°]            ±12

導(dǎo)絲輥軸距[mm]     390

切削液罐[l]          240

機(jī)器尺寸[L×W×H][mm]3700×1780×3010

機(jī)器重量[kg]        11500

 

4、DW 288 S4藍(lán)寶石和其他硬脆材料鋸床

藍(lán)寶石和其他硬脆材料的智能切片技術(shù)

基于廣泛采用和成功的DW 288產(chǎn)品系列

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得益于復(fù)雜的工件擺動(dòng),金剛石線鋸DW 288 S4在將半導(dǎo)體硅和藍(lán)寶石切片到晶圓中時(shí)達(dá)到了最高精度。我們詳細(xì)的技術(shù)和工藝知識(shí)也可以轉(zhuǎn)化為電子、石英或其他硬脆材料。

可選的是經(jīng)過市場驗(yàn)證的金剛石線材管理系統(tǒng)(DWMS)或用于硬質(zhì)材料(如碳化硅)的漿料介質(zhì)模塊。

您的優(yōu)勢:

剛性和溫度優(yōu)化設(shè)計(jì)確保高產(chǎn)量

8英寸半導(dǎo)體和藍(lán)寶石行業(yè)同類最佳

適用于不同格式的多功能應(yīng)用程序

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技術(shù)參數(shù):

腹板長度[mm]        420

工件的最大尺寸[mm]  ?206×420或210×420英制

線速[m/s]            25(1500m/min)

導(dǎo)線加速度[m/s2]     8(<4s)

最小導(dǎo)線直徑[μm]   100

最大鋼絲張力[N]     45

擺動(dòng)原理工件擺動(dòng)

搖擺角[°]           ±12

導(dǎo)絲輥軸距[mm]     540

切削液罐[l]         240

機(jī)器尺寸[L×W×H][mm]3620×1780×3010

機(jī)器重量[kg]        10500

 

5、DS 261表面質(zhì)量最高的12英寸晶圓鋸床

DS261漿狀線鋸

漿料切片晶片的一流表面,以及最佳的翹曲和TTV值,使DS 261成為12英寸半導(dǎo)體行業(yè)的領(lǐng)先線鋸。

DS 261具有頂級(jí)的技術(shù)和質(zhì)量性能,在市場上得到了廣泛應(yīng)用。

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好處:

快速高效的切割

最佳扭曲和TTV值

最佳納米拓?fù)渲?/span>

集成工件定向

廣泛的應(yīng)用-最大產(chǎn)量

除了硅,多功能DS 261還切割其他硬脆材料,如石英、陶瓷、藍(lán)寶石或砷化鎵等不同尺寸的材料。DS 261從制造到加工的高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)保證了最大的產(chǎn)量和最佳的納米拓?fù)渲怠?/span>

 

技術(shù)參數(shù):

腹板長度[mm]           410

工件的最大尺寸[mm]dst  305mm×400(應(yīng)要求為dst 18〃)

線速[m/s]               15(900m/min)

導(dǎo)線加速度[m/s2]        2.5(<6.5s)

最小導(dǎo)線直徑[μm]       120

最大鋼絲張力[N]         50

導(dǎo)絲輥軸線距離[mm]    600

切削液漿料

泥漿罐[l]               175

機(jī)器尺寸[L×W×H][mm]   2980×4120×3340

機(jī)器重量[kg]            12000


轉(zhuǎn)載請標(biāo)注來源158機(jī)床網(wǎng)
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