大連科德的激光頭是全國產(chǎn)自主的,核心組件自主最高的國產(chǎn)激光干涉儀。。。目前在官網(wǎng)就看到這一款產(chǎn)品,有個專業(yè)的團隊再做。不過目前干涉儀最強的英國RENISHAW雷尼紹XM-60/600多光束激光干涉儀,效率超高,對個人要求也低,極易學習和使用。希望大連科德也開發(fā)對標產(chǎn)品!??!
XM60小知識:
XM-60是一款激光測量系統(tǒng),只需一次設定即可沿線性軸同時測量6個自由度的誤差。它還是一款功能強大的診斷工具,通過一次采集即可測量軸的所有幾何量誤差。
對于執(zhí)行空間補償?shù)挠脩?,XM-60為他們獲得所需數(shù)據(jù)組提供了一種快速精準的方法。 所有測量均為光學測量,可在任意方向執(zhí)行。
輕型發(fā)射器通過光導纖維遠離發(fā)熱的激光源,從而減少測量點處的熱影響。發(fā)射器可直接通過其側面甚至后面安裝到機器上或者上下倒置安裝,非常適用于難以接近的機器區(qū)域。
接收器可進行完全無線操作,由充電電池供電,從而在機器移動中避免電纜拖拽,因為在測量過程中電纜拖拽可能會引起誤差或激光束“斷光”。
主要特性與優(yōu)點:
快速 — 利用傳統(tǒng)激光技術,一次安裝即可同時測量線性、俯仰、扭擺、滾擺、水平方向和垂直方向直線度等六項誤差。
簡單 — 設定簡單,讓其他干涉儀系統(tǒng)使用者很快就能熟練使用。自動檢測軸的正負方向和圖形準直減少了人為誤差。
可靠 — 直接測量所有誤差,允許用戶在測試過程中查看結果。
強大 — 獨特的光學滾擺測量系統(tǒng)能夠在任一方向執(zhí)行滾擺測量。
LM系列激光干涉儀可進行位置精度檢測,可檢測數(shù)控機床定位精度、重復定位精度、反向間隙等相關幾何誤差參數(shù)指標;以及其他需要高精度幾何誤差測量及補償?shù)膽脠龊稀?/span>
科德數(shù)控股份有限公司生產(chǎn)的KMC800S系列高精度五軸立式復合加工中心,利用LM系列激光干涉儀進行X軸測量,定位精度為3.2um,重復定位精度為1.9um,這一測量結果與使用國際知名廠商(雷尼紹XL80)所生產(chǎn)的激光干涉儀測量結果相吻合。
1.LM-20激光干涉儀介紹:
LM-20激光干涉儀以氦氖激光器產(chǎn)生的激光波長為基礎,應用高穩(wěn)定度的激光穩(wěn)頻率技術,獲得作為測量基準的高精度激光波長;同時使用高精度溫度、大氣壓力、濕度傳感器進行測量環(huán)境的補償;并通過與外部光學鏡組配合,實現(xiàn)高精度、可重復、可溯源的相關幾何參數(shù)精度測量,是數(shù)控機床和坐標測量機等精密設備校準的理想工具。LM-20激光干涉儀延續(xù)GDLM-10激光干涉儀的高精度測量性能,同時優(yōu)化了機械結構和使用性能。
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2.測量的基本原理
(1)LM-20激光干涉儀的激光頭發(fā)射出光波,經(jīng)過分光鏡后光波被分成兩束;
(2)固定角錐反射鏡和移動角錐反射鏡分別將光波反射回分光鏡;
(3)兩列相干光波相遇疊加,在疊加區(qū)域某些點的光振動始終加強,某些點的光振動始終減弱,即在干涉區(qū)域內(nèi)振動強度有穩(wěn)定的空間分布;
(4)最終在光靶上形成了明暗相間的干涉條紋,當兩束滿足干涉條件的光路徑發(fā)生相對變化時(即移動角錐反射鏡時),其干涉條紋也將發(fā)生變化,利用特殊的計數(shù)裝置對干涉條紋進行計數(shù),就可以知道移動角錐反射鏡的位置變化量,從而實現(xiàn)對線性位移進行測量的目的。
3. 產(chǎn)品優(yōu)勢
高激光頻率穩(wěn)定度激光穩(wěn)頻標稱精度±0.05ppm,實際計量結果 0.02ppm,為激光干涉儀測量提供高精度基準。中國計量科學研究院是中國最權威的計量檢測機構,激光干涉的檢定數(shù)據(jù)均來自于中國計量科學研究院。
精密的環(huán)境參數(shù)測量能力環(huán)境溫度測量標稱精度±0.1℃,實際計量結果-0.02℃-+0.06℃;材料溫度測量標稱精度±0.1℃,實際計量結果+0.01℃-+0.06℃;大氣壓力測量標稱精度±100Pa,實際計量結果+40-+66.7Pa;環(huán)境濕度測量精度±5%。為激光干涉儀的環(huán)境補償算法提供精準的環(huán)境參數(shù)變化。
高測量精度線性定位測量標稱精度±0.5um/m(±0.5ppm),實際計量結果+0.08-+0.47um/m,高測量精度使激光干涉儀可以作為高精度的校準設備。
4.產(chǎn)品特點1
高測量速度;最高4m/s的測量速度,滿足幾乎所有的測量應用。
快速啟動:約6分鐘的啟動預熱時間,便于測量現(xiàn)場的快速使用。
長測量距離:長達20m的測量能力,滿足大多數(shù)的測量要求。
5.產(chǎn)品特點2
高測量分辨率:可選的測量分辨率,最高1nm。
觸發(fā)式測量:適合在待測機器移動時記錄測量值,測量效率高。
多種國際分析標準供選擇:方便用戶選擇自己需要的分析標準,進行多種分析。
6.核心組件(激光頭)
激光的穩(wěn)頻,發(fā)射接收及相關后續(xù)處理;環(huán)境傳感器數(shù)據(jù)的接收,上位機軟件的交互
7.核心組件(環(huán)境傳感器)
用于測量環(huán)境溫度,材料溫度,環(huán)境濕度及大氣壓力;測量得到的環(huán)境數(shù)據(jù)用于干涉儀的精密補償。
8.核心組件(測量鏡組)
1、線性鏡組:用于進行線性測量的光學套件;
2、角度鏡組:用于進行角度及旋轉(zhuǎn)測量的光學套件。