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英國(guó)ZEEKO氣囊光學(xué)拋光機(jī)
2024-09-09 16:01:49

英國(guó)ZEEKO拋光機(jī)售后服務(wù)
介紹:
1.ZEEKO系列光學(xué)拋光機(jī)被稱為IRP系列設(shè)備(智能自動(dòng)拋光機(jī))。
2.此系列拋光機(jī)的尺寸從IRP 50(最大零件尺寸50mm×50mm)到IRP 3000(最大零件尺寸為3000mm×3000mm)不等。
3.在IRP 50(和其他類似機(jī)器)上可拋光的最小直徑約2.5mm(以光學(xué)設(shè)計(jì)為準(zhǔn))。
4.拋光工具的尺寸從R540、R240、R160到最常用的R80、R40和R20不等。
5.在自適應(yīng)拋光工具中,有較小的半徑為R-10到R-2、R-1、R0.4mm(R-0.05mm將在未來(lái)引入)。

機(jī)器的產(chǎn)品特點(diǎn):
1. 可拋光非球面和自由曲面。
2. 可拋光其他高難度的幾何形狀;如半球,超半球,Wolter 掠入射反射鏡和許多其他復(fù)雜曲面。
3. 可拋光許多不同的且難以加工的材料,如碳化物、晶體材料,低膨脹玻璃、硬質(zhì)合金、紅外材料等。
4. 新的ZephyrCAM軟件操作簡(jiǎn)單。
5. 低運(yùn)行成本。

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咨詢電話:13522079385

拋光工藝:
所有的Zeeko設(shè)備都可以執(zhí)行以下工序:
1. 形狀自適應(yīng)磨削——一種類似于可延展性的研磨形式進(jìn)行拋光。
2. 氣囊拋光——經(jīng)典的Zeeko工藝。
3. 射流拋光和超聲射流拋光。

測(cè)量:
大型機(jī)器的內(nèi)置測(cè)量包括:
1. 內(nèi)置干涉儀系統(tǒng)并和Zeeko相匹配的測(cè)量塔,集成在機(jī)器上。
2. Zeeko 子孔徑成像處理拼接軟件。
3. 白光技術(shù)作為附件集成在內(nèi),用于表面結(jié)構(gòu)分析。
4. 可在選定的機(jī)器上內(nèi)置和集成的擺動(dòng)臂輪廓測(cè)量。
5. 可在選定的機(jī)器上安裝綜合掃描五棱鏡輪廓儀。

軟件:
新Zeeko ZephyrCAM軟件具有早期版本的所有特點(diǎn),以及便于使用的界面和能力,例如:
1. 生成用于拋光多個(gè)表面和多個(gè)側(cè)面的工具路徑。
2. 使用“特殊”Zeeko設(shè)計(jì)或“用戶設(shè)計(jì)”工具。
3. 通過(guò)繪制工具表面幾何形狀,使用不同的加工角度進(jìn)行拋光。
4. 運(yùn)行“關(guān)閉虛擬樞軸”工具。
5. 拋光有難度的幾何形狀,如半球、超半球、Wolter掠入射反射鏡和許多其他復(fù)雜表面。
6. 達(dá)到3埃以下的粗糙度。
7. 控制和消除許多中頻效應(yīng),并從多種復(fù)雜的工具路徑中選擇來(lái)控制中頻效應(yīng)的產(chǎn)生。
8. 從多種不同的工具路徑技術(shù)中選擇限制和控制邊緣效應(yīng)。
9. 使用Zeeko“SAG”(形狀自適應(yīng)磨削)工具的范圍。 在6軸機(jī)器人和5軸加工中心上進(jìn)行預(yù)拋光。

機(jī)器型號(hào)及功能簡(jiǎn)介
1.IRP 50
IRP 50配有所有可選的拋光液循環(huán)系統(tǒng),(蠕動(dòng)泵,低壓和高壓集成SMU)。它也可以提供所有三種不同的拋光工藝SAG(形狀自適應(yīng)磨削式拋光),經(jīng)典氣囊拋光和射流或超聲射流拋光)。它是一個(gè)非常好的量產(chǎn)型機(jī)器。
2.IRP 100
IRP 100比IRP 50機(jī)器外形尺寸更大,但具有相同的功能。它不僅是一款同樣高效的量產(chǎn)機(jī)器,也是一款可用于科研的好機(jī)器。
3.IRP 200 MKI
IRP 200 MKI是Zeeko系列機(jī)器中的經(jīng)典款機(jī)器并仍在生產(chǎn)中,企業(yè)可用于實(shí)驗(yàn)室研究和小批量多品種產(chǎn)品的生產(chǎn)。
4.IRP 200 MKII
IRP200 MKII 是在MKI基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的量產(chǎn)型機(jī)器,配有直接驅(qū)動(dòng)的A,B軸,直線電機(jī)和線性編碼器。具有使用壽命長(zhǎng),維護(hù)成本低,高性能等特點(diǎn)。
5.IRP 400
IRP 400是“II型”虛擬樞軸機(jī)中外形尺寸最小的,因此非常適合長(zhǎng)半徑光學(xué)器件。較短半徑光學(xué)器件更適合于IRP 600和較小的IRP 200機(jī)器。

英國(guó)Zeeko氣囊拋光技術(shù)

 氣囊拋光技術(shù)是英國(guó)Zeeko公司和倫敦大學(xué)光學(xué)實(shí)驗(yàn)室的Walker等人在2000年左右提出的。

下圖所示為Zeeko公司氣囊拋光機(jī)床。

其基本原理是利用多層材料(一般采用橡膠或性編織物的混合材料)壓制形成球形的氣囊基底,然后在氣囊表面粘附一層聚氨酯拋光墊,通過(guò)拋光頭的自轉(zhuǎn)和主軸的公轉(zhuǎn),獲得近高斯形的去除函數(shù)。

氣囊拋光的優(yōu)勢(shì)在于:

1) 氣囊內(nèi)部壓力可控且可與工件表面緊密貼合,是一種可控的柔性加工方法。

2) 研拋過(guò)程中,氣囊自轉(zhuǎn)軸與工件局部表面法線成一夾角,并繞該法線做類似陀螺運(yùn)動(dòng)的進(jìn)動(dòng)運(yùn)動(dòng),接觸區(qū)域內(nèi)速度輪廓平均,被加工表面紋理均勻且無(wú)序,有利于形成很好的表面質(zhì)量。

3) 氣囊與工件表面接觸面積連續(xù)可控,因此不需要更換不同直徑的研拋工具就能實(shí)現(xiàn)拋光的全過(guò)程加工,提高加工效率。

目前,在光刻物鏡的加工中,氣囊拋光技術(shù)已經(jīng)作為離子束拋光前期的主流加工技術(shù)。

但是,單獨(dú)應(yīng)用于米級(jí)口徑以上大型光學(xué)非球面的加工的報(bào)道較少,主要原因在于氣囊拋光的拋光斑尺寸小、材料去除率小,在加工大口徑非球面時(shí)所需的加工時(shí)間很長(zhǎng),并且容易產(chǎn)生中高頻誤差。

因此,氣囊拋光應(yīng)用于更大口徑非球面研拋需要進(jìn)一步提高加工效率、抑制中高頻誤差同時(shí)解決好邊緣效應(yīng)問(wèn)題。

咨詢電話:13522079385

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圖 (a) 氣囊拋光原理示意圖;(b) Zeeko IRP400氣囊拋光機(jī)[32]

 



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