Nanosys-1000 大型非球面 超精密加工機床
Nanosys-1000
大承載液體靜壓工件主軸
無摩擦平衡氣缸的垂直液體靜壓導(dǎo)軌
加工范圍:Φ1000×350mm
測量、控制系統(tǒng)分辨率:1nm
加工面形精度:0.3μm/Φ300mm
加工表面粗糙度:Ra<10nm
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