日本DISCO公司成立于1937 年,多年來專注于“Kiru (切)、Kezuru (磨)、Migaku (拋)”領(lǐng)域,形成了半導(dǎo)體切、磨、拋裝備材料完善的產(chǎn)品布局。
DISCO的減薄機采用TAIKO工藝,與以往的背面研削不同,TAIKO在對晶圓進行研削時,將保留晶圓外圍邊緣部分(約3mm左右),只對圓內(nèi)進行研削薄型化的技術(shù)。
其暢銷機型DGP8760 的升級款 DGP8761 型減薄機,可通過背面研削到去除應(yīng)力的一體化,高效穩(wěn)定地實現(xiàn)厚度在 25μm以下的晶圓減薄加工。
減薄設(shè)備:包含研磨機(Grinders)、拋光機(Polishers)、研磨拋光一體機(Grinder/Polisher)、表面平坦機(Surface Planer)、晶圓貼膜機(Tape Mounter)。
研磨機型有DFG8340、DFG8540/41、DFG8560、DFG8640、DFG8830、DGP8761;拋光機型有DFP8140、DFP8141、DFP8160、DAG810。
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DGP8761 型減薄機