東京精密和Carl Zeiss技術(shù)的融合XYZAX 機(jī)型與世界唯一的動(dòng)態(tài)掃描技術(shù)相結(jié)合。機(jī)器所使用的Calypso 測(cè)量程序和AI智能識(shí)別功能(東京精密已申請(qǐng)了國(guó)際專利),使得任何人都能輕松的完成掃描測(cè)量。
VAST測(cè)頭是一款動(dòng)態(tài)掃描的測(cè)頭在保持測(cè)力方向與法線方向(與測(cè)量面垂直)相同的同時(shí),保證了測(cè)力的恒定,這種功能目前只有通過(guò)Carl Zeiss的動(dòng)態(tài)掃描技術(shù)才可以實(shí)現(xiàn)。這被稱為實(shí)時(shí)掃描技術(shù)。
測(cè)量精度與新的JIS規(guī)格相對(duì)應(yīng)(JIS B 7440-2 2003)。測(cè)量精度可以保證在MPEE=1.9+4L/1000μm。實(shí)測(cè)值參照下面的數(shù)據(jù)。確保掃描精度為MPETHP=2.8μm。多種測(cè)量配件可以滿足客戶提出的特殊需求,在標(biāo)準(zhǔn)配置的測(cè)針上增加300mm的測(cè)量延長(zhǎng)桿,仍能保證MPETHP=5.8μm的精度。