采用運(yùn)動(dòng)質(zhì)量輕的單邊高架移動(dòng)橋式結(jié)構(gòu)，此結(jié)構(gòu)顯著提高了Y軸導(dǎo)軌的 運(yùn)動(dòng)精度并降低了移動(dòng)橋框架的重量，提高了系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)性能，大幅降低了Y軸運(yùn)動(dòng)中的橫梁角擺現(xiàn)象，確保了系統(tǒng)的精度及穩(wěn)定性
|
型號
|
測量范圍（mm）
|
示值誤差(mm)
|
探測誤差(μm)
|
|
786
|
700×800×600
|
1.2＋L/400
|
1.5
|
|
8106
|
800×1000×600
|
1.2＋L/350
|
1.5
|
|
10128
|
1000×1200×800
|
1.5＋L/350
|
1.8
|
|
121510
|
1200×1500×1000
|
1.8＋L/350
|
2.0
|
