一.中圖激光干涉儀介紹
激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是公認(rèn)的高精度、高靈敏度的檢測手段，在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量，可以進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等，具有極高的精度和效率，而且及時處理數(shù)據(jù)，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。
二.中圖激光干涉儀功能特點(diǎn)
1. 測量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達(dá)納米級；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。
2. 具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備運(yùn)動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時也能檢測運(yùn)動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。
3. 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。
4. 具有動態(tài)測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等。
5. 內(nèi)置各種類國標(biāo)（GB）、ISO（國際）、BS（英制）、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)。可依據(jù)各種機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測量結(jié)果可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。
6. 可自動監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)?？蛇x擇手動或自動對波長進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
7. 測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。
8. 安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。
三.中圖激光干涉儀技術(shù)參數(shù)
系統(tǒng)性能
測量方式：單頻
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
動態(tài)采集頻率：50 kHz
預(yù)熱時間：5-10分鐘
工作溫度范圍：0~40℃
環(huán)境溫度范圍：0~40℃
存儲溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)
線性測量
測量距離：0-40m
測量精度：0.5ppm (0-40℃)
測量分辨率：1nm
測量最大速度：4m/sec
角度測量
軸向量程：0-15m
測量范圍：±10°
測量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M為光學(xué)鏡移動距離，單位：m）
測量分辨率：0.1μm/m
直線度測量
軸向量程：0.1-4.0 m
測量范圍：±2.5 mm
測量精度：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M為光學(xué)鏡移動距離，單位：m）
測量分辨率：0.01μm
垂直度測量
測量范圍：±3/M mm/m
測量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M為光學(xué)鏡移動距離，單位：m）
測量分辨率：0.01μm/m
平面度測量
軸向量程：0-15 m
測量范圍：±1.5 mm
測量精度：±0.6% R±0.02 M2 μm/m（M為光學(xué)鏡移動距離，單位：m）
測量分辨率：0.1μm
回轉(zhuǎn)軸分度精度測量
角度測量范圍：0-360°
精密轉(zhuǎn)臺角度增量：5°
精密轉(zhuǎn)臺分度精度：±1秒
精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)性：0.2秒
