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主要特征： 

    核心零部件及軟件全部原裝進口
       三軸導(dǎo)軌均采用高精密天然花崗巖，具有相同的溫度特性及剛性
       開放式金屬光柵尺，更接近花崗巖基體的熱膨脹系數(shù)，提高了設(shè)備的穩(wěn)定性
    X、Y導(dǎo)軌采用矩形導(dǎo)軌立裝，保證最大的抗彎強度
    X、Y、Z導(dǎo)軌采用四面氣浮塊環(huán)布形式，保證運動直線度
    配合三軸氣動鎖緊，三軸均設(shè)有微進給結(jié)構(gòu)，將手動的方便快捷與自動的精度保證相結(jié)合
    顯示器與機臺一體化的設(shè)計，符合人機工程學(xué)原理，保證操作的便捷性
    測量軟件操作簡便，運行可靠

規(guī)格型號與技術(shù)指標(biāo):

注：工作環(huán)境為 溫度(20±2)℃，濕度55%-65%