特征：
懸浮式旋轉(zhuǎn)臺，無磨耗 結(jié)構(gòu)小，高度低 步進技術(shù)，2相電源 適用于真空環(huán)境 應用：
半導體業(yè) AOI設(shè)備 WAFER檢測分度
