特征:
行程:200*200~300*300 平面度:±4μm 重現(xiàn)度:±1μm 絕對精度:±4μm 適配無塵室100,10 適配真空度10~3mbar 適用范圍廣泛,可根據(jù)客戶需要提供整合動子模組及不同型式導軌的訂制產(chǎn)品或組合產(chǎn)品,并在短期內(nèi)提供客戶最佳的品質 交貨迅速 應用:
無塵室環(huán)境 WAFER加工、檢測 激光加工機 Stencill Laster