SiC、GaN等的平坦化、薄化、鏡面研磨等加工例：
加工率超越傳統(tǒng)磨削方法。
表面粗糙度消除了包裹工藝、SSD 的需要。
■4-6英寸單晶SiC晶圓超高效減薄加工
6英寸單晶SiC晶圓可在約10分鐘內(nèi)從600μm減薄至100μm、Ra1nm以下。還可以同時加工多個 4 英寸工件。
■4英寸單晶SiC晶圓超平坦化加工
可以創(chuàng)建邊緣平坦的超平坦表面，而這對于晶圓工藝中傳統(tǒng)使用的包裹物來說是不可能的。
■4英寸單晶SiC晶圓超鏡面加工
可進行相當(dāng)于Ra0.6nm、Rz5.1nm的加工。此外，即使使用超高粒度磨石，工具磨損也極小。
■4英寸單晶SiC晶圓超鏡面加工
成功實現(xiàn)了傳統(tǒng)固定磨料方法無法實現(xiàn)的超最小化加工應(yīng)變層。
大幅減少晶圓制造過程中的 CMP 工序。
■4英寸藍寶石晶圓高效加工
我們還專注于照明器件等用藍寶石的高效、高精度減薄和平坦化。
■低熱膨脹玻璃
能夠?qū)τ米鞴鈱W(xué)產(chǎn)品或晶圓支撐基板的玻璃進行高效率、高精度加工?？梢暂p松實現(xiàn)1μm以下的平坦度。
■陶瓷、玻璃材料等的超高效磨削。
我們還可以以出色的精度和效率加工硬脆材料，例如用作散熱器或支撐基板的陶瓷。
■純鎳、鍍銅等超高效率、超平坦化加工
它還可以輕松高效、高精度地加工 MEMS 中使用的純鎳和銅鍍層等柔軟且粘性的材料。
咨詢電話：13522079385
特征：
一種全新的磨削工藝，顛覆了加工難切削材料晶圓時的常識。
1. 加工效率、質(zhì)量、最小SSD和刀具壽命。
在各個方面都優(yōu)于傳統(tǒng)的加工方法。
與東北大學(xué)共同研究開發(fā)的一種創(chuàng)新的難切削材料磨削方法。獨特開發(fā)的智能輪（專利）和恒壓定量復(fù)合控制技術(shù)，實現(xiàn)了前所未有的加工效率、質(zhì)量、SSD小型化和刀具壽命。
2、定量恒壓復(fù)合控制技術(shù)（已申請專利），始終達到最佳加工條件。
這是一項革命性的技術(shù)，旨在最大限度地減少對工件的損壞。不斷檢測施加在工件和磨石上的壓力，并由NC控制切削壓力和切削量。磨削始終在最佳條件下實現(xiàn)。
3.終極旋轉(zhuǎn)和定位技術(shù)（專利），可創(chuàng)建超鏡面和超平坦表面。
砂輪主軸和工件主軸軸承采用非接觸式多面靜壓導(dǎo)軌。此外，為了實現(xiàn)定量恒壓復(fù)合控制加工，我們開發(fā)了雙靜壓軸承并將其用于工作軸（專利）。憑借出色的減振性能、無表面晃動的超精密旋轉(zhuǎn)以及高精度垂直軸定位，我們可以創(chuàng)造出前所未有的超鏡面和超平坦表面。
4、超高剛性結(jié)構(gòu)，加工面無下垂。
高剛性床身和獨特的龍門框架結(jié)構(gòu)的設(shè)計最大限度地減少了各軸上加工表面的切削深度和傾斜。
5.可進行晶圓厚度測量及自動加工。
自動處理和潔凈室兼容性也是可能的。
作為選配，工件厚度測量精度可達±1μm，支持自動加工。此外，還可以支持自動工件供應(yīng)和潔凈室規(guī)格（詳細規(guī)格請聯(lián)系我們的總公司銷售部門）。
■針對難切削材料的加工而開發(fā)的全新加工方法
獨特開發(fā)的智能砂輪和固定恒壓聯(lián)合控制技術(shù)，實現(xiàn)前所未有的高效、高質(zhì)量、長刀具壽命的加工。
■恒壓定量復(fù)合控制
實時檢測施加在工件和磨石上的壓力，并由NC控制
切削。
■工件厚度自動測量
測量工件厚度的測量單元，精度可達±1μm?？梢灾С秩詣犹幚?。
■精密真空吸盤
根據(jù)客戶的要求，我們可以提供與晶圓吸附、BG 膠帶和打蠟平臺兼容的精密卡盤系統(tǒng)。
系列：
■超精密恒壓定量復(fù)合控制磨床（超精密磨床）
NSF-350（OP）
兼容最大6英寸的各種晶圓加工。該型號非常適合SiC、GaN、藍寶石、LT等的生產(chǎn)線。
■超精密恒壓定量復(fù)合控制磨床（超精密磨床）
NSF-600（OP）
可同時處理多種類型的晶圓，最多可處理三片 4 英寸晶圓和七片 3 英寸晶圓。該模型具有良好的記錄，非常適合 SiC、GaN、藍寶石、LT 等。
■超精密恒壓定量復(fù)合控制磨床（超精密磨床）
NSF-800（OP）
可同時研磨3片6英寸晶圓和7片4英寸晶圓。該機型還可以處理大直徑陶瓷和玻璃的加工。還支持自動工件交換。
規(guī)格：
型號/項目 | 工件最大直徑 毫米 | 垂直軸行程 毫米 | 回轉(zhuǎn)軸行程 毫米 | 工作軸最小單位 毫米 | 工作軸轉(zhuǎn)速 分鐘-1 | 砂輪主軸轉(zhuǎn)速 分鐘-1 | 砂輪尺寸（外徑×內(nèi)徑） 毫米 |
NSF-350 | φ150 | 150 | - | 0.0001 | 70~900 | 0~600 | φ350×30 |
NSF-600 | φ300 | 150 | 100 | 0.0001 | 70~600 | 0~600 | φ600×30 |
NSF-800 | φ380 | 約180 | - | 0.0001 | (70) ~450 | 0~450 | φ800×40 |
