◇ 行 程: X軸:800 mm
Y軸:1000 mm
Z軸:600 mm
◇ 結(jié)構(gòu)型式:移動橋式
◇ 傳動方式:直流伺服系統(tǒng)+ 預(yù)載荷高精度空氣軸承
◇ 開放式光柵尺
◇ 機(jī) 臺:高精度花崗巖平臺
◇ 整機(jī)尺寸: 1509m m X 2040 m m X 2710m m
◇ 機(jī)臺承重:1000 kg ,
整機(jī)重量:2000 Kg
◇ 長度測量最大允許示值誤差:MPEE= 2.5+L/300
◇ 最大允許探測誤差(mm): MPEP=2.5