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國產(chǎn)激光干涉儀
產(chǎn)地:深圳
品牌:其他
編碼:SJ6000
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù),實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù),實現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合,得到不同的干涉信號,然后通過高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù),將數(shù)據(jù)通過計算機進行顯示和動態(tài)分析。

SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀特點:
1.測量精度高、速度快,穩(wěn)定性好
①使用美國高性能氦氖激光器,結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測量單位,分辨率可達nm級
③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù),測量速度可達到4m/s。
④配合有環(huán)境補償單元,在環(huán)境變化的情況下,也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設(shè)計,避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應(yīng)用范圍廣
①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng),可以用于速度,加速度,振動分析以及穩(wěn)定度等分析
③ 可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù),進行動態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具,軟件界面人性化,操作簡單。
②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中,更方便用戶切換測量類型。
③向?qū)讲僮?,流程清晰,更符合國?nèi)用戶的使用習(xí)慣。
4 性價比高
性能達到了國外儀器的水準(zhǔn),價格是國內(nèi)儀器的良心價。

SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀功能

SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測,如可以測量數(shù)控機床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量,可以進行機床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態(tài)特性分析,驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等,具有極高的精度和效率,而且及時處理數(shù)據(jù),為機床誤差修正提供依據(jù)。

SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀技術(shù)參數(shù):

系統(tǒng)性能

測量方式:單頻

穩(wěn)頻精度:0.05ppm

動態(tài)采集頻率:50 kHz

環(huán)境溫度范圍:0~38℃,環(huán)境濕度:0~95%

存儲溫度范圍:-20℃~70℃

環(huán)境補償示值誤差

空氣溫度傳感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃

材料溫度傳感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃

空氣濕度傳感器:±6% (0-95%)

大氣壓力傳感器:±0.1kPa

線性測量

測量距離:0-40m

測量精度:0.5ppm (0-38℃)

測量分辨率:1nm

測量最大速度:4m/s

SJ6000激光干涉儀使用維護說明:

(1)避免現(xiàn)場與儀器箱內(nèi)溫差較大時,直接開箱使用;

(2)運輸、使用中避免劇烈碰撞;

(3)儀器線纜要防止碾、壓,線纜接口防止變形;

(4)多塵的環(huán)境中,要注意光學(xué)鏡組放塵,測量間隙較長時,注意將激光光閘關(guān)閉,防止灰塵進入激光器;

 

(5)清洗光學(xué)鏡組要使用高質(zhì)量的擦拭紙、清洗液。

 

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