SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀特點:
1.測量精度高、速度快,穩(wěn)定性好
①使用美國高性能氦氖激光器,結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測量單位,分辨率可達nm級
③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù),測量速度可達到4m/s。
④配合有環(huán)境補償單元,在環(huán)境變化的情況下,也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設(shè)計,避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應(yīng)用范圍廣
①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng),可以用于速度,加速度,振動分析以及穩(wěn)定度等分析
③ 可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù),進行動態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具,軟件界面人性化,操作簡單。
②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中,更方便用戶切換測量類型。
③向?qū)讲僮?,流程清晰,更符合國?nèi)用戶的使用習(xí)慣。
4 性價比高
性能達到了國外儀器的水準(zhǔn),價格是國內(nèi)儀器的良心價。
SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀功能
SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測,如可以測量數(shù)控機床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量,可以進行機床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態(tài)特性分析,驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等,具有極高的精度和效率,而且及時處理數(shù)據(jù),為機床誤差修正提供依據(jù)。
SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀技術(shù)參數(shù):
系統(tǒng)性能
測量方式:單頻
穩(wěn)頻精度:0.05ppm
動態(tài)采集頻率:50 kHz
環(huán)境溫度范圍:0~38℃,環(huán)境濕度:0~95%
存儲溫度范圍:-20℃~70℃
環(huán)境補償示值誤差
空氣溫度傳感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
材料溫度傳感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
空氣濕度傳感器:±6% (0-95%)
大氣壓力傳感器:±0.1kPa
線性測量
測量距離:0-40m
測量精度:0.5ppm (0-38℃)
測量分辨率:1nm
測量最大速度:4m/s
SJ6000激光干涉儀使用維護說明:
(1)避免現(xiàn)場與儀器箱內(nèi)溫差較大時,直接開箱使用;
(2)運輸、使用中避免劇烈碰撞;
(3)儀器線纜要防止碾、壓,線纜接口防止變形;
(4)多塵的環(huán)境中,要注意光學(xué)鏡組放塵,測量間隙較長時,注意將激光光閘關(guān)閉,防止灰塵進入激光器;
(5)清洗光學(xué)鏡組要使用高質(zhì)量的擦拭紙、清洗液。