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一、東莞金研精密四工位CMP拋光機KD36QS4產品特點

1、東莞金研精密四工位CMP拋光機KD36QS4配置伺服修盤系統，確保磨盤足夠的平坦度。

2、東莞金研精密四工位CMP拋光機KD36QS4采用磨盤在線檢測恒溫系統，防止工件變形及脫片。

3、東莞金研精密四工位CMP拋光機KD36QS4采用多段貨柔性加壓系統，滿足復雜的加工工藝要求。

4、東莞金研精密四工位CMP拋光機KD36QS4配置數字化加液系統，減少磨液損耗。

5、東莞金研精密四工位CMP拋光機KD36QS4采用四工位獨立變速控制系統。

二、東莞金研精密四工位CMP拋光機KD36QS4應用領域

東莞金研精密四工位CMP拋光機KD36QS4主要應用于半導體材料、精密光學、晶體材料等研磨加工。

1、半導體材料包括Si、Ge、GaAs、藍寶石、SiC、InP、GaN、MEMS、陶瓷基板等。

2、精密光學包括光學晶體、光學鏡頭、玻璃基板、ITO玻璃、藍寶石玻璃、濾波材料等。

3、晶體材料包括鈮酸鋰、鉭酸鋰、YAG、石英、紅外材料等。

三、東莞金研精密四工位CMP拋光機KD36QS4技術參數