實現(xiàn)工作臺最小驅(qū)動10納米
通過采用本社制造的陶瓷制空氣滑塊和直線電機，世界首次搭載了完全非接觸XY直交工作臺。并通過搭配使用高分解能光柵尺，實現(xiàn)工作臺最小驅(qū)動單位10納米。
標準搭載高性能加工液冷卻裝置
通過標準搭載高性能加工液冷卻裝置，維持穩(wěn)定的超精密加工。
主要構(gòu)造采用陶瓷
由于采用直線電機驅(qū)動方式，無需使用滾珠絲杠，避免了傳送機構(gòu)部件產(chǎn)生扭曲或磨損。此外，通過在主要構(gòu)造材料中采用陶瓷材質(zhì)，保證了長期穩(wěn)定的高精度。
